CIGS薄膜太阳能电池中试线磁控溅射镀膜设备

	国内首套实现全磁控方式制备CIGS薄膜太阳能电池片核心工艺的解决方案

	 

	刚性基材上制备CIGS薄膜太阳能电池的整体解决方案

	 

	

		

			

				基材：
			

				平面/刚性：钠钙玻璃
		
		

			

				膜系：
			

				阻挡层+Mo、CIGS、i-ZnO、AZO、AR
		
		

			

				应用：
			

				太阳能光伏组件