公司拥有卷绕控制系统,模块化设计,倾斜式箱体设计,PEM气体控制系统,新型中频圆柱旋转阴极,线形离子源,磁悬浮导向,二进制多段布气,集成式生产线水冷系统等20余项先进工艺和核心技术,将各种创新技术应用于生产线实践,并在实践中发掘新的创新点,共同推进工艺和设备的不断更新和进步。
公司自行研发设计、加工的新型中频圆柱旋转阴极,提高靶材利用率,降低生产成本。...
有效防止挡板阀外表面出现冷凝水现象,提高设备的可靠性并延长使用寿命,使设备安全运行。...
与传统的速度张力控制相比结构简单,控制方便,后期维护成本的减少,运行可靠性能稳定。...
可对镀膜前的基材进行预清洗,提高成膜附着力,工作模式包括聚焦模式和散焦模式。...
确保工艺氛围均匀性...